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复合分子泵 抽速大 压缩比高 超高真空

复合分子泵 抽速大 压缩比高 超高真空

更新时间:2021-06-08

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厂商性质:生产厂家

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简要描述:
复合分子泵 抽速大 压缩比高 超高真空的形式很多,按结构分,主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的叶片形状,级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比,提高泵的出口压力。

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   复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ~ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了泵的出口压力。法国 Alcatle 公司生产的一种采用气体静压轴承和动密封的复合分子泵,可以做到完全无油,且不用前级泵直接向大气中排气。

 复合分子泵 抽速大 压缩比高 超高真空的形式很多,按结构分,主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的叶片形状,级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比,提高泵的出口压力。

       复合分子泵 抽速大 压缩比高 超高真空盘式牵引级是在平板圆盘平面上按一定规律开出数条型线沟槽,然后将数块圆盘串接起来构成,型线有阿基米德螺线、对数螺线、圆弧线等。抽气时靠高速转动的圆盘对气体分子进行“拖动”,使其沿沟槽作由内向外及由外向内的往复折回的定向流动,从而达到抽气目的。

 

       筒式牵引级是在圆筒形的转子或定子的圆柱面上开一定断面形状的沟槽,如矩形、圆弧形、三角形及其它形状的多头螺旋槽。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上,因此可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递,提高泵的抽气效果。在设计制造中,可以通过改变螺旋沟槽通道与抽气方向之间的夹角 ( 螺旋升角 ) 来达到较理想的抽气效果。

       在复合分子泵的设计中,必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,而牵引级沟槽抽气面积较小,在两种结构的联接处,由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变,使气体分子的运动在联接处由有序变成无序,至使返流增加,抽气能力下降。因此,在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构,以提高泵的抽气性能。

       随着复合分子泵的不断改进,其应用领域越来越广,在某些抽气系统上可以替代扩散泵,缩短了系统的抽气时间,并可获得无油污染的清洁真空环境。

 

分子泵特殊环境下使用注意事项

 

1、运输

如果被抽系统振动较大,应使用隔振器,以减少振动对分子泵造成的损坏。

2、强磁场屏蔽

泵在强磁场中运行时,旋转的转子将产生满电流而发热,消弱铝对料的强度,因此,要求加在分子泵上的径向和轻向磁场强度均不得大于3mT(30Gs).在大于3mT的环境中使用系应使用寻磁材料屏蔽。

3、电磁干扰

分子泵及其控制器在运行中将对环境产生电磁场,但电磁强度符合国际标准。在特殊应用场合(如医疗仪器等),用户可以向生产厂家索取技术证明。

4、强放射性限制

大多数材料在强放射性环境下,都将改变其性能,尤其是有机材料(如泵油、密封圈)及半导体组件。为防止泵的意外损坏,分子泵运行环境中放射性强度应小于105rad.

危险:

泵在通电状态下,泵体任何导体部门都可能带电.在对象进行任何维护及维修工作之前,必须先切断控制器,

警告:

a)拆泵必须由经过专业培训的人员进行,严禁未经撄权私自拆泵。

b)分子泵经过精密的动平衡校验,拧松螺钉或增加垫片等任何操作都将导致严重的动不平衡。如发生该问题请讲泵返回厂家,重新校验。

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