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英福康电容隔膜复合压力测量计

英福康电容隔膜复合压力测量计

更新时间:2021-06-08

访问量:29

厂商性质:生产厂家

生产地址:松江区松米路2号

简要描述:
英福康电容隔膜复合压力测量计采用当今市场上先进的数字皮拉尼技术。 不锈钢传感器单元坚固耐用,结构设计紧凑,适用于半导体系统和标准应用,例如前级真空管。

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INFICON 皮拉尼PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S型英福康电容隔膜复合压力测量计采用当今市场上先进的数字皮拉尼技术。 不锈钢传感器单元坚固耐用,结构设计紧凑,适用于半导体系统和标准应用,例如前级真空管。

英福康电容隔膜复合压力测量计益处

  • 轻松一键调节 ATM 和 HV
  • 节省空间的坚固设计
  • 铝质壳体
  • 可在任意方向安装
  • 不锈钢测量单元,带金属密封馈入装置
  • 便于集成的对数信号输出
  • 螺纹接头,具有 10 巴绝对过压能力
  • 250 °C 烘烤型
  • 在腐蚀应用中可选购镍丝
  • 陶瓷馈入装置,适用于腐蚀性极强的应用 (PSG510 & PSG512)
  • 可选设定点
  • RoHS 合规

典型应用

  • 高真空电离真空计控制
  • 前级真空压力监控
  • 真空系统中的安全电路
  • 高真空和低真空范围内的一般真空测量和控制

 

附件 PSG500 tungsten 零件号 说明 211-001 卡箍 DN 10-16 ISO-KF PSG500-S tungsten, setpoints 零件号 说明 211-001 卡箍 DN 10-16 ISO-KF PSG502-S nickel, setpoints 零件号 说明 211-001 卡箍 DN 10-16 ISO-KF PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs 零件号 说明 211-001 卡箍 DN 10-16 ISO-KF PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs 零件号 说明 211-001 卡箍 DN 10-16 ISO-KF


 

 

产品名称:产品说明:产品备注:

Gemini大气压至超高真空真空计

 

INFICON Gemini倒置磁控管真空计是所有真空测量应用的动力源泉。Gemini将两个传感器系统整合在一个小装置中,测量范围从大气压至 1x10 – 9 毫巴。获得的超低杂散磁场设计为全新的应用领域开启了大门。独特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护,这使使Gemini成为同类产品中最坚稳和经济的真空计。

Gemini冷阴极和组合真空计配备了完全集成的数字电子设备,使系统集成具有很强的灵活性。冷阴极和皮拉尼组合选项提供了跨越多个应用领域的无缝转换、可靠性、实用性和灵活性。

益处

  • 在恶劣环境下,使用寿命长

  • 低杂散磁场
  • 零维护- 可换插头
  • 超紧凑尺寸
  • 可靠的快速点火
  • 抗腐蚀馈入装置
  • 可选测量电流

典型应用

  • 基本压力监视和控制,在蒸发和溅射镀膜应用中从大气压到高真空。
  • 一般真空测量 – 工业炉、建筑玻璃、半导体、冰箱和空调。
  • 分析和研发应用 – 质谱分析、电子显微镜、医疗、眼科、光学和高能物理。

 

附件 MAG50x 零件号 说明 211-098 细目过滤中心环组件DN 25 ISO-KF 351-550 MxG50x 点火单元 MPG50x 零件号 说明 211-098 细目过滤中心环组件DN 25 ISO-KF 351-550 MxG50x 点火单元

 

 

 

产品名称:产品说明:产品备注:

PEG100中真空至超高真空真空计

 

PEG100 中真空至超高真空真空计

 

 

INFICON 潘宁PEG100型真空计提供可靠的高真空测量。 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现灯丝烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件,除了对数模拟输出信号外,允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议将真空计轻松集成到真空系统中。

益处

  • 测量范围广,从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)
  • 全金属冷阴极传感器(潘宁),带陶瓷馈入装置
  • 创新的电极几何形状提供好的点火属性
  • 等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险,即使在有氩气的溅射运行中
  • 阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换
  • 最小化真空计附近的磁场强度
  • 用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器
  • 对数模拟输出信号
  • 现场总线接口(Profibus DP、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中

典型应用

  • 高真空压力监控
  • 蒸发溅射系统
  • 高真空范围内的一般真空测量和控制

 

零件号 PEG100 零件号 说明 351-000 真空计 351-002 PEG100-P 规管 351-003 PEG100D 型真空计 351-004 PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F 351-005 PEG100-P 规管

 

 

产品名称:产品说明:产品备注:

BPG400大气压至超高真空真空计

 

 BPG400 大气压至超高真空真空计

 

 

INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼(Pirani)BPG400型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑的装置中,测量范围从 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)。 多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。 选择BPG400真空计,价格经济,且可重复测量基准压力。

 

益处

  • 测量范围非常广,从 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)
  • 10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
  • 皮拉尼联锁保护贝阿德-阿尔珀特系统在高压操作下单丝过早烧毁和过度污染
  • 使用寿命长的氧化钇铱丝
  • 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预
  • RoHS 合规
  • 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

典型应用

  • 对半导体过程和传输腔室的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

 

 

附件 BPG400 零件号 说明 353-510 100 mm sensor extension tube 353-511 BPG400 24V电源 353-512 Baffle for BPG400 211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF

 

 

 

产品名称:CDG045D

 

产品说明:

 

益处

  • 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
  • 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
  • 轻松一键调零或远程信号调零指令,可调零点偏移
  • 诊断端口用于快速维修和维护
  • 两年保修服务,先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
  • 信号稳定性和可重复性,即使是苛刻的等离子应用,都无需长期执行重新校准
  • 合规性与标准: CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

  • 用于刻蚀、CVD、PVD 和其他半导体制造过程
  • 化学及腐蚀真空过程
  • 一般薄膜和真空过程
  • 基准传感器用于监控测试仪器是否符合国际标准
  • 合传递标准,确保测量可追溯性

 

 

 

 

 

产品名称:CDG025D电容膜片真空计

 

产品说明:

 

INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计, 在苛刻的生产环境中
具有稳定的性能. 先进的数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点, 如一键调零功能和设点
调整. 抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有的零点稳定性与预期数百万次压强周期包括大气冲击的
长使用寿命. 独特的传感器屏蔽) 保护真空计防止过程污染. 坚固耐用的机械结构和数字
电子学加强了EMC 兼容性, 长期稳定性和温度补偿性. CDG025D 真空计为从电源接通后的快速
稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准.

优点
■ 全刻度范围从 100 毫乇… 1000 乇
■ 电源接通后快速稳定
■ 暴露大气压后快速恢复
■ 抗腐蚀性陶瓷传感器
■ 长期讯号稳定性
■ 温度补偿
■ 保护传感器防止污染
■ 一键调零功能
■ 宽范围电源
■ 两个设点
■ RS232接口
■ 符合清洁室条件

 

产品备注:

用途 在要求高的应用中用于精确和快速的压强测量: ■ 用于刻蚀, CVD, PVD, ALD 等半导体制造设备 ■ 数据贮存和显示器制造设备 ■ 工业真空设备 ■ 一般高精度压强测量

 

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     鸣富真空科技(上海)有限公司座落于美丽的松江科邦工业园,是集研发、设计、生产、销售和服务为一体的综合性企业,以真空检漏设备(检漏仪,氦捡设备等)、真空获得设备(旋片泵,罗茨泵,罗茨机组,分子泵等)、真空阀门、真空配件(真空管道,真空法兰,波纹管等)、精密加工为主业,拥有自营进出口经营权和多项自主研发的产品。

     近年来鸣富坚持以质量求生存,以创新促发展,以诚信拓市场,以服务赢客户的方针,以市场需求为导向,以客户满意为目标,销售额以超过50%的速度增长,几大主业都得到了快速发展,公司经营规模不断扩大,已成为国内的真空产品制造厂家,我司凭借一支技术过硬的研发队伍,不断促进新产品的研发,制造水平可与国际相媲美,深得国内外广大用户的青睐。公司秉承“顾客至上,锐意进取"的经营理念,我们提供高质量的产品,坚持“客户第一”的原则,为广大客户提供优质的服务。

    产品被广泛应用于半导体、IT装备、新能源、环保、化工等诸多工业领域和高等院校、国防、中科院等教学科研单位,依托的质量的技术、人性化的设计、多元化的解决方案和服务,销售到全国各地,并远销美国、英国、德国、法国、韩国、日本等发达国家,以较强的性价比优势得到国际市场的认可。

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