莱宝分子泵机组工作中,这几个情况是可能会出现的
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1.分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上,以防止松弛引起的空气泄漏;
2.不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。打开相应的高压阀以启动分子泵;
3.当M2或M7的真空度始终没有到位时,请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作;
4.打开之前,必须先打开冷却水阀。叶轮停止后,必须关闭冷却水阀;
5.每次停机后,必须清洗每个分子泵的入口,以保持其清洁,以避免不必要的损坏;
6.当出现警告信息“EF”时,检查冷却水通道是否畅通,并用机枪进行检查。在再次打开之前,请确保水路畅通。当出现其他报警信号时,严禁再次启动分子泵进行后处理。
7.当分子泵出现故障无法使用时,应暂停生产,并在手动充满空气后更换备用分子泵;
8.当分子泵未启动时,检查前级泵和电磁阀是否正常工作;
9.发生故障时,必须根据故障提示进行处理。
应用领域:
采用半磁浮分子泵作为主抽泵,应用广泛,高真空端配置免维护的永磁轴承,可有效避免碳氢化合物的
污染,获得洁净的高真空和超高真空,该系统对He、H2抽速较高。
莱宝分子泵机组在使用过程中常见的一些问题:
1.真空度降低(密封件老化,排气阀开裂或脱落)
2.喷油(油太多或挡油板脱落)
3.漏油(油封磨损、O型圈、密封垫损坏)
4.起动困难(油泵磨损或皮带偏松)
5.停泵时系统出现空气(密封阀损坏)